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发布时间： 2026-05-30
采购单位: | 某单位 |
项目名称: | 等离子增强气相沉积采购项目 |
预算金额（万元）: | 450 |
采购品目: | A02330300 电子工业生产设备 |
采购需求概况: | 为满足低温成膜工艺研发需求，现拟采购一套等离子增强气相沉积设备。该设备为器件制备核心工艺设备，可实现SiO2、Si3N4、SiON、非晶硅、SiC等典型介质及半导体薄膜的低温沉积。 |
联系人: | 徐老师 |
联系电话: | 0755-88012181 |
预计采购时间: | 2026年7月 |
备注: | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
2026年5月30日
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