项目名称:

可移动多样品架兼容式分子束外延系统采购项目

预算金额（万元）:

95

采购品目:

A02052400 真空获得及应用设备

采购需求概况:

1.MBE 腔体采用可移动式设计，可分别与现有 UNISOKU 和 OMICRON 扫描隧道显微镜（STM）系统进行真空互联及样品传递，并保证各对接位置的机械接口、传样轴线及真空接口兼容。

2.样品操纵台应同时兼容现有 UNISOKU 样品托和旗形样品托（Flag-style sample holder），并可通过红外测温仪测温，应具备以下加热能力：

（1）兼容 UNISOKU 样品托的直流、e-beam加热方式，样品最高加热温度达到 1250 ℃；

（2）旗形样品托采用 PBN 加热器加热时，样品最高加热温度不低于 700 ℃；

（3）配置适用于旗形样品托的电极接口，可通过样品直接通电方式进行直流加热，最高温度达到 1250 ℃。

3.系统配置真空机械手及相应样品架，可兼容 UNISOKU 样品托和旗形样品托，并能够完成样品在 MBE 腔体、UNISOKU STM 腔体及 OMICRON STM 腔体之间的真空传递。

4.样品操纵台配置液氮制冷模块，并具备UNISOKU 样品托和旗形样品托两个样品位，可实现两种样品制冷。

5.MBE 腔体配置石英晶体膜厚监测仪（QCM），用于沉积速率及膜厚监测。

6.MBE 腔体预留 RHEED 电子枪及荧光屏安装接口和相应束流通道，接口位置及几何布局应保证 RHEED 电子束能够以合适的掠入射角照射样品，并可正常采集衍射图样。

7.MBE 腔体及其真空系统应满足超高真空要求，带Load-Lock腔体情况下，经充分烘烤并恢复至室温稳定后，MBE腔体本底真空度 ≤ 5 × 10⁻¹⁰ mbar。

8.MBE 腔体与 STM 系统之间应采取有效的机械振动隔离措施（如真空波纹管柔性连接等），降低 MBE 腔体及其附属设备产生的机械振动向 STM 系统传递，减少对 STM 正常成像造成明显影响。

联系人:

贺老师

联系电话:

0755-88012181

预计采购时间:

2026年10月

备注:

无